4）終端處理主要根據(jù)客戶的特殊要求生產(chǎn)出超低有機(jī)型、無(wú)菌型、無(wú)熱源型等的超純水。針對(duì)不同要求有多種處理方式，如超濾過(guò)濾法用于去除熱源，雙波長(zhǎng)紫外氧化法用于降低水中總有機(jī)碳（TOC），微濾去除細(xì)菌等。超濾（UF）薄膜則是一個(gè)分子篩，它以尺寸為基準(zhǔn)，讓溶液通過(guò)極細(xì)微的濾膜，以達(dá)到分離溶液中不同大小分子的目的，可將超純水中的熱源含量降至0.001EU/ml以下。雙波長(zhǎng)紫外氧化法可利用光氧化有機(jī)化合物，將超純水中的總有機(jī)碳濃度降低至5ppb以下。

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